微纳公共平台为国际校区开放共享服务平台,旨在为ZJUI、ZJE师生提供先进微纳工艺的国际化教学平台,为校区交叉科研和国际化合作提供微纳加工的支撑平台,为地方企业提供产业化开发的服务平台。

平台坐落于校区1E楼1层,一期建筑面积约1326平方米,其中净化实验区域面积约720平米,包括百级洁净区约100平米,千级洁净区约440平米,万级洁净区约180平米。平台拥有先进的微纳加工及测试设备:双面对准光刻机、感应耦合等离子体刻蚀系统、原子层沉积系统、磁控溅射和蒸发薄膜沉积设备、快速退火炉、金相荧光显微镜、台阶仪、半导体参数分析仪、探针台等,能够满足半导体微纳器件的基本加工工艺和表征要求,支持校内外师生和研究人员在多领域、交叉学科开展前沿科学研究和技术开发。

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